磁気センサアレイを用いたロータリエンコーダ

1つのシリコンチップ上に磁気センサアレイ(MAGFET)を四角形に集積化し、 センサチップと対向して回転可能な永久磁石を配置することでロータリエンコーダを構成します。 センサアレイの出力をチップ中央部の角度検出回路で統計的に演算する手法を開発することで、 小型で高精度なアブソリュート式ロータリエンコーダが実現できます。 下図に示すような非常に小型なセンサチップで1回転当り10[bit]精度の実現に成功しました。

センサチップのブロック図	ロータリエンコーダの構成図
試作センサチップ

文献

1. Kazuhiro Nakano, Toru Takahashi and Shoji Kawahito, "A CMOS Smart Rotary Encoder Using Magnetic Sensor Arrays," IEEE SENSORS 2003, pp. 206-209, 2003.