フラックスゲート磁気センサと高感度センサインタフェース

CMOSチップ上パーマロイ磁性膜を形成し，多層配線による励磁と検出コイルを用いてフラックスゲート方式により高感度磁気検出を行うとともに，コイル駆動，微弱信号検出回路を集積化した高感度磁気センサに関する研究を行っています．下図のチップは，スイス連邦工科大学と共同で開発した，DS変調高精度インタフェースを集積化したスマート磁気センサです．これは，1999年のISSCCで発表しました．従来，シリコン磁気センサが感度が不十分で地磁気の検出ができませんでしたが，本磁気センサでは，下図のように地磁気を高精度に検出できます．

試作磁気センサチップ	地磁気に対する検出精度

文献

1. C. Maier, S. Kawahito, M. Schneider, M. Zimmermann, H. Baltes, "2D magnetic micro fluxgate system with digital signal output," Dig. Tech. Papers, IEEE Int. Solid-State Circuits Conf., pp. 130-131 (1999).
2. S. Kawahito, C. Maier, M. Schneider, M. Zimmermann, H. Baltes, "2-D CMOS microfluxgate sensor system for digital detection of weak magnetic fields," IEEE J. Solid-State Circuits, vol. 34, No. 12, pp. 1843-1851 (1999).